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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:磊晶片測量

  • 產(chǎn)品型號:Talysurf
  • 產(chǎn)品廠商:英國TAYLOR HOBSON
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
對于客戶和供應(yīng)商而言,表面紋理是確定外延半導(dǎo)體質(zhì)量的極其重要的參數(shù)
詳情介紹:

磊晶片測量

由于光電組件在電訊和顯示技術(shù)領(lǐng)域的的用途不斷擴(kuò)展,外延技術(shù)成為組件生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)。外延是指在單晶基片表面上沉積非常薄的半導(dǎo)體物質(zhì)層的過程。每個晶體層稱為外延層。

計量

表面粗糙度
對于客戶和供應(yīng)商而言,表面紋理是確定外延半導(dǎo)體質(zhì)量的極其重要的參數(shù)。對于目前的驅(qū)動器而言,因?yàn)橐诠杵嫌∷⒌碾娐吩絹碓叫?,所以粗糙度容差范圍變得更窄。磊晶片的表面粗糙度?guī)定為納米級,所以這需要使用噪音非常低且分辨率高的系統(tǒng)來測量磊晶片。

 

 

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