ZYGO 3D 白光干涉輪廓儀，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌。白光輪廓儀廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域，用于表面形貌紋理，微觀結構分析。

    ZYGO 有三個型號標準白光干涉輪廓儀，Zegage，NewView，Nexview，它們設計理念各有不同，配合各類附件，能良好滿足各種場景，各類環(huán)境下的不同應用需求。

ZYGO 白光輪廓儀的共有特點和優(yōu)勢：

·              ZYGO SureScan?大幅減小了環(huán)境振動的影響；還可以降低高精度量測時的噪聲，提高超光滑表面的測試精度。

·              ZYGO SmartSetup?，自動對焦樣品表面，自動智能配置測試參數，使原來麻煩的“找條紋”， “選擇測試參數”過程，在一分鐘之內，自動完成

·              ZYGO全系列白光輪廓儀，都包括自動防撞功能，”心細如發(fā)“，“一觸即止”，能*大程度保護樣品和設備的**。

基于以上ZYGO共有的功能，每一款白光輪廓儀又有什么自己的特點呢？今日小Z就和各位親聊聊：

如何選擇ZYGO白光輪廓儀

ZeGage?系列

1.6K*1.2K像素，1X光學縮放，

SureScan?采樣；

可選手動調整，或3軸（Z，XY平移）自動調整樣品臺；

表面形貌重復性(STR);

ZeGage?Pro     3.5nm

ZeGage?Pro HR  0.15nm

ZeGage?桌面型光學輪廓儀,結構緊湊，穩(wěn)定可靠。它采用一體化結構設計，配合ZYGO SureScan?抗振采樣模式，可以無需氣浮抗振臺，直接置于桌面，在生產環(huán)境中量測。

·              ZeGage? 系列有兩種型號，都具有較高性價比。ZeGage?Pro表面形貌重復性(STR) 3.5nm，適用于精密機械，材料學，摩擦磨損等納米級測量；ZeGage?Pro HR表面形貌重復性(STR) 0.15nm，可以量測亞納米級超光滑表面。

·              ZeGage?可選增高架構，用于測量更大尺寸的樣品；還可以選用3軸（Z，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調整樣品臺，具有拼接測量及一定編程自動化測量的能力。

Newview?9000

1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X 目鏡；

CSI, SureScan?, SmartPSI采樣；

可選手動調整，或5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調整樣品臺；

手動孔徑光闌，及視場光闌；

Newview 表面形貌重復性(STR) 0.08nm

Newview?9000是ZYGO應用*廣的高性能光學輪廓儀，配合豐富的配置及附件，滿足多樣化應用需求。

·              Newview?9000 150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃描，表面形貌重復性(STR) 0.08nm，可以滿足苛刻的超光滑表面測試需要。

·              Newview?9000光學系統(tǒng)包括孔徑光闌，及視場光闌；可優(yōu)化光學成像質量，適用于不同樣品表面紋理和微結構。

·              Newview?9000采用分立龍門架構，可以通過標準墊塊附件，抬高測試頭，來測試超大超高樣品。

·              Newview?9000可選5維全自動樣品臺，配合ZYGO腳本編程工具，自主開發(fā)工業(yè)自動化測試流程。

Nexview?  NX2 

1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X目鏡；

CSI, SureScan?, SmartPSI采樣；

標配5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調整樣品臺；

全自動孔徑光闌，及視場光闌調整；

Nexview?  NX2  表面形貌重復性(STR) 0.06nm

Ture Color樣品表面彩色3D形貌測量

Nexview?  NX2是ZYGO光學輪廓儀系列中，測試精度*高，功能*全，整機完全自動化的型號；NX2專為*挑戰(zhàn)應用設計制造。

·              Nexview?  NX2 150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃面，表面形貌重復性(STR) 0.06nm，是ZYGO光學性能，噪聲系數*優(yōu)的型號，可以滿足*苛刻的埃級超光滑表面測試需要。

·              Nexview?  NX2覆蓋了其它ZYGO白光輪廓儀的所有功能；此外還獨有Ture Color樣品表面彩色3D形貌測量能力。

·              Nexview?  NX2同樣采用分立龍門架構，可以通過標準墊塊附件，抬高測試頭來測試超高樣品。

·              Nexview?  NX2實現(xiàn)了整機完全自動化，從塔臺，樣品臺，到光學系統(tǒng)光闌控制，全部軟件可編程；配合ZYGO腳本編程工具，Nexview?  NX2可以實現(xiàn)完全自動化測試。